sp;等离子体euv光源用的就是这个原理。

同步辐射和x射线自由电子激光两者的原理差不多，都是相对论性电子束的电磁辐射。

苏哲想了一会儿，还是觉得第一种，x射线管靠谱一些，因为高能电子撞击相应原子产生三组光源，及波长125纳米x射线、波长08纳米x射线、波长136纳米x射线的相关参数都是已知的。

波长125纳米x射线是由特定状态的高能电子撞击特定状态下的钙原子产生的。

波长08纳米x射线是由特定状态的高能电子撞击特定状态下的硼原子产生的。

波长136纳米x射线是由特定状态的高能电子撞击特定状态下的铅原子产生的。

高能电子状态参数，相关原子的状态参数都是已知的，能不能成就要看工程实现了。

他计算了一下，三组模型验证实验对光源的要求没有很高，工程实现应该不困难。

至少他是这么认为的。

苏哲抬头看向台上，心中想着，光源的理论问题解决了，就看工程实现了。

当然，如果研究中心有x射线自由电子激光器那就更好了。

他隐约记得，在范晓明带他参观研究中心的时候，好像看过一台设备，当时范晓明就说过，那是一台x射线发生器，而且产生的x射线的波长是可调的。

真要这样，那就省了很多事。

想到这，他掏出了手机，看了看时间，已经是晚上十点半了，这技术报告会应该快结束了。

他还想着技术报告会结束后，去办公室登陆研究中心数据系统，找找那台x射线发生器参数，瞧瞧是不是如范晓明说的，能产生波长可调的x射线。

在苏哲看向台上包正义的时候，牛光辉和司文博两人停下了手中的笔，不约而同的看向对方。

“老牛！你那组算的结果如何？”司文博小声的问。

“可以！理论上是可以的，你那组呢？”牛光辉非常的意外。

“也行！理论上完全可行。”司文博异常的惊讶。

“这……这太不可思议了。”牛光辉有些兴奋的说，“现在，我就等着技术报告会结束，连夜赶回陵州，用你和苏哲提供的比例方案试一下。”

“我感觉我们低估了苏哲。”司文博认真的说，“之前有人说，dyn-离子束抛光技术和苏哲有关，会不会这dyn-离子束抛光技术就是苏哲搞出来的。”

“这……不好说。”牛光辉有些迟疑。

要是没有苏哲提供的三组锡、铍比例，他肯定说不可能，现在就不好说了。

两人看着坐在旁边的苏哲，正想着要不要问苏哲 『加入书签，方便阅读』
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